조선대학교 광기술공학과 김은진 석사과정생(지도교수 권민기)이 한국광학회와 EUV-IUCC(극자외선 노광기술 국가연구협의체)가 공동주관하고 네덜란드 반도체 제조장비 업체인 ASML이 후원하는 '2021 차세대 리소그래피 학술대회'에서 혁신논문상(우수학생논문상)을 수상했다.
지난 17일부터 이틀간 평창 알펜시아 컨벤션 센터에서 온오프라인으로 진행된 학술대회는 반도체 및 디스플레이 리소그래피 분야와 검사 계측(Metrology and Inspection, MI) 분야에 대한 성과와 연구결과를 나누는 자리로 마련됐다.
리소그래피는 반도체, 디스플레이, 인쇄전자에서 핵심공정 기술로서 나노미터 (성인 머리카락의 10만분의 1)크기의 반도체 선폭에서 수 mm크기를 그리는 기술이다.
김은진 학생은 이번 학술대회에서 '패터닝된 이황화 몰리브덴 나노 필름을 이용한 웨어러블 습도 센서 연구' 논문을 발표했다.
논문은 2차원 반도체 물질인 이황화 몰리브덴을 활용한 습도센서 구조와 특성에 대해 다뤘다.
김은진 학생은 이황화 몰리브덴 나노필름을 성장 위치 제어가 가능하도록 합성하고 리소그래피 기술을 활용해 배열구조의 TFT(박막 트랜지스터) 형태로 제작했다.
제안된 습도센서는 45%~75%의 상대 습도 범위에서 기존의 습도센서 보다 2배 빠른 응답성과 높은 민감도를 보였고, 플렉시블한 형태로 인체 부착이 가능해 차세대 u-Health 분야의 웨어러블 호흡센서 솔루션으로 주목을 받았다.
한편 조선대학교 광기술공학과는 광학을 기반으로 전기, 전자, 정밀기계, 신소재 기술, 인공지능이 융복합된 첨단공학 분야의 학과로 반도체, 디스플레이, 초고속 광통신, 레이저응용, 광의료, 국방기술, 신재생에너지, 바이오 등 고부가가치를 창출할 수 있는 4차산업의 핵심 기술을 교육하고 있다.